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等离子光氧一体机光解分解废气分子：废气经过253.7纳米波段光切割、断链、燃烧、裂解废气分子链，改变分子结构，取185纳米波段光对废气分子进行催化氧化，使破坏后的分子或中子、原子以O3进行结合，使或无机高分子恶臭化合物分子链，在催化氧化过程中，转变成低分子化合物CO2、H2O等，再根据不同的废气成分配置27种以上相对应的惰性催化剂，催化剂采用蜂窝状金属网孔作为载体，与光源接触，惰性催化剂在338纳米光源以下发生催化反应，放大10-30倍光源效果，使其与废气进行充分反应，缩短废气与光源接触时间，从而提高废气净化效率。
等离子光氧一体机的技术特点：
1、过滤技术
颗粒污染物过滤技术主要是HEPA滤网，HEPA滤网质量参差不齐，一些小的滤网虽然具有较高的过滤效率，但是阻力大，能效比比较低，而且很容易堵塞，寿命较短，一般建议选用带有静电驻的容尘HEPA滤网，静电驻技术使得无纺布纤维带有正负电，捕捉空气中的颗粒物，很多HEPA滤网都号称具有静电驻技术，但是由于技术原因很多滤网的驻电荷在较短的时间内会衰减的很快，导致过滤效率降低。
可以选择市面上的如3M静电驻的HEPA滤网，与3M口罩采用同样静电驻技术，驻效率不衰减。
2、能效比和能效等级
等离子光氧一体机通常是长期连续使用的，能效比作为衡量空气净化器净化能力与电力消耗的重要指标。能效比和能效等级越高，代表空气净化器越节能，使用成本越低。
3、臭氧释放量
臭氧作为强氧化剂具有净化能力，但对人体是有伤害的。对空气净化器臭氧释放量有强制性要求，限定在≤5×10-6%（臭氧具有鱼腥味）。
